質(zhì)量流量控制器是用于精確控制氣體體積流量的儀表，由質(zhì)量流量傳感器、熱式原件、調(diào)節(jié)閥和放大電路組成，它利用流動的流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管溫度分布的熱傳導(dǎo)分布效應(yīng)而制成，它相較于質(zhì)量流量計多了一個精密的電磁比例調(diào)節(jié)閥。因此，一般情況下控制器會有一個閥門全開模式，可以作為質(zhì)量流量計來使用。
工作原理：
質(zhì)量流量控制器內(nèi)置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異，并根據(jù)作為電信號發(fā)送的設(shè)定流量通過精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動控制氣體流量，從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測量和控制。
其原理是采用毛細(xì)管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，將傳感器測得的流量信號進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值去驅(qū)動控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器相較于傳統(tǒng)流量計不管是在使用的便捷性，還是長期穩(wěn)定性、可靠性上都有著極大的優(yōu)勢：
(1)傳統(tǒng)流量計包括浮子流量計、渦輪流量計、容積流量計等，這類傳統(tǒng)流量計內(nèi)部有運動部件，適用范圍相對比較狹小，在微流量測量領(lǐng)域精度較差。而新型質(zhì)量流量計和控制器量程比可達(dá)100:1，精度可做到0.5%~1.0%RD(流量讀數(shù)*0.5%~1.0%)或者0.5%~1.0%SP(流量設(shè)定值*0.5%~1.0%)。
(2)新型的質(zhì)量流量計和控制器在設(shè)計之初就貼合了制造業(yè)的在線監(jiān)測和反饋控制的需求，可遠(yuǎn)程通過模擬信號量(4-20mA)/0-5V或者數(shù)字信號量RS485、profibus等進(jìn)行數(shù)據(jù)監(jiān)測以及流量的精確控制。
